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[2022110138] 硅衬底氮化镓外延技术
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研发出一种通过优化设计外延层的结构与生长条件、参数提高材料晶体质量，设计新的外延层结构控制材料内部应力，解决硅与氮化镓材料之间由于热失配和晶格失配造成的龟裂与高缺陷密度问题的技术。
