项目名称 | XJG2 高温压力传感器 |
行业分类: | 机械与装备制造 |
技术权属: | |
要内容及技术指标: | "a. 特点 ⚫ 自主制造的微机械加工耐高温压阻力敏芯片 ⚫ 可长期在高温下工作 ⚫ 灵敏度高、长期稳定性好 ⚫ 动态频响好 ⚫ 高量程、高过载 b. 概述 XJG 2 高温压力传感器采用 MEMS 技术和 SOI 技术,集成平膜压力传感器芯体,并采用 先进的梁膜结构设计,使其具有耐高温及瞬时高温冲击的能力、动态频率响应高(最高可达 到 1MHz)、超高量程,以及高过载(最大可承受满量程 20 倍)等特点。“耐高温压力传感器”为国家高技术研究发展计划(863 计划)MEMS 领域重点项目成果,并通过部级成果鉴定, 拥有自主知识产权(发明专利:ZL 01 1 28782.9 和 ZL001.13961.4)。该压力传感器广泛应 用于航空航天、国防、石油、化工、冶金、电力、船舶、汽车、医药、科研等领域对高温流体的测量。 c. 技术参数 耐瞬时高温冲击:2000℃ 测量介质:与硅、不锈钢、玻璃兼容的各种液体或气体 量 程:0~500KPa……150MPa 供 电:1.5mA 或 5mA 或 9V 零位输出:≤±2mV " |
项目来源: | 西安交通大学 |
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持有方: | 西安交通大学 |
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