专利名 | 高精度激光陀螺低散射光学表面高洁净清洗方法 |
行业分类: | 化工冶金 |
简介: | 本发明属于高洁净清洗技术,涉及对高精度激光陀螺低散射光学表面清洗方法的 改进。其操作步骤如下:2 .5%~3 .5%FA/0清洗液超声清洗;无水乙醇超声清洗;去离子水 超声清洗;双氧水超声清洗;去离子水超声清洗;去离子水兆声清洗;甩干。本发明对于高精 度激光陀螺光学表面清洗后表面洁净度显著提高,满足高精度激光陀螺对低散射光学表面 镀膜的要求。 |
专利号: | 200710081295.X |
申请(专利权)人: | 中国航空工业第六一八研究所 |
专利提供单位: | |
专利类型: | 发明专利 |
法律状态: | 有权 |
合作方式: | |
参考价格: |